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當(dāng)前位置:首頁(yè)資料下載小流量氣體質(zhì)量流量傳感器 流量傳感器

小流量氣體質(zhì)量流量傳感器 流量傳感器

發(fā)布時(shí)間:2018/1/23點(diǎn)擊次數(shù):710

小流量氣體質(zhì)量流量傳感器  流量傳感器

型號(hào):TL/FS4001

 

FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來(lái)制作,適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

產(chǎn)品特點(diǎn):

- 傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳
- 感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量程高度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應(yīng)時(shí)間快

主要參數(shù):

 

性能參數(shù)FS4001單位
通 徑1.01.8mm
zui大流量30, 100, 200500, 1000SCCM
量程比≥100:1 
精 度±(1.5+0.2FS)%
重復(fù)性0.25%讀數(shù)
零點(diǎn)輸出飄移±30mV
輸出飄移±0.12%/oC
響應(yīng)時(shí)間4, 8, 16, 33 , 65 , 131mses
工作電源8~18Vdc,50mA 
輸出方式線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc 
zui大流量壓損350300pa
zui大工作壓力0.5MPa
工作溫度-10 ~ +55oC
存儲(chǔ)溫度-20 ~ +65oC
工作濕度<95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露) 
機(jī)械接口可拆式軟管接頭 
校準(zhǔn)方式空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa 
重量15g

 

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